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单晶

Al > 氮化铝单晶

氮化铝单晶

单晶

    


名称

氮化铝单晶

分子式

AlN

CAS

24304-00-5

生长方法

物理气相沉积

晶体结构

六方,铅锌矿型结构

晶格常数

a=3.11Å,c=4.98Å

熔点(℃)

2750

密度(g/cm3)

3.23

表面努氏硬度

800

折射率(nD)

2.1-2.2

导带类型

直接带隙

禁带宽度(eV)

6.28

热导率(W/mK)

320

电子迁移率(V·s/cm2)

1100

化学稳定性

不溶于水

颜色及外观

白色至浅黄色晶体

常规尺寸

10*10mm,5*5mm,最大 50.8mm直径,可定制

常规晶向

(0001)

抛光

铝极性面:化学抛光,≤0.5nm 氮极性面:机械抛光,≤1nm


氮化铝作为第三代/第四代半导体材料的典型代表,具有超宽禁带,高热导率,高击穿场强,高电子迁移率,耐腐蚀、耐辐射等优越物理化学性能,特别适合于制造光电子器件、射频通信器件、高功率/高频电力电子器件等,是紫外LED、紫外探测器、紫外激光、5G高功率/高频射频5G通信SAW/BAW器件等最佳衬底材料。

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