CCD照相机

500万像素分辨率

单桶显微镜

70至460倍连续变倍，可以粗调和细调，白光LED明场照射。

显微镜支架

XY方向行程10mm

样品台

XY方向精度2μm，样品台可以加热到150°C

六轴夹片台

载玻片X和Y两轴可倾斜 <2°，XY方向平行行程10mm，精度2μm，Z方向行程10mm，精度2μm。

对准样品台

32mm直径（可根据需求定制）

备注

1、样品表面和掩膜板表面要保持清洁，防止灰尘沾染，推荐在无尘室使用。

2、为避免振动，真空泵建议放置在尽量远离对准及转移系统的位置。

3、为保证转移效果，PDMS需要尽可能平整。

4、定期检查真空吸附口位置，务必保持清洁。

5、光学平台底座可根据实际需求定制加工。

1、 准备工作。提前准备好转移过程中需要用到的工具和相关耗材。例如镊子，剪刀，刀片，载玻片和PDMS，PVA等以及待转移的目标衬底。

2、 载玻片支架移到最左边，将剥离好的材料（衬底）放在转移平台的样品托上，打开真空泵按钮，吸住衬底，并用显微镜找到目标材料。

3、 将PDMS和PVA依次帖在载玻片上，载玻片固定在支架上，往右移动支架，直到PVA膜在二维材料的正上方，利用显微镜将PVA膜对准待转移的目标二维材料，然后降下支架直至PVA膜紧紧的贴在二维材料上。

4、 打开样品托加热按钮，待温度上升至50°C以上，再缓慢上升载玻片支架，此时可以看到PVA膜留在衬底表面，将载玻片上升到足够高度后，移动至最左边。

5、 关闭样品托加热开关，关闭真空吸附开关，取下黏附有PVA膜的衬底。（待衬底和样品托冷却至室温左右，可利用冰袋加速样品托降温，再进行下一步）

6、 将需要转移二维材料的目标衬底放在样品托上，打开真空吸附开关，在显微镜下找到目标位置。

7、 用尖头镊子取下第3步衬底上的PVA膜，此时二维材料黏附在PVA膜上（注意PVA膜的正反面），将PVA膜贴在载玻片的PDMS上，有二维材料的一面朝下。往右移动支架直到PVA膜在目标衬底的目标位置正上方。

8、 通过显微镜倍率调节，载玻片支架位置和样品托位置调节，使二维材料精确的对准在目标位置上方然后缓慢下降载玻片，直到二维材准确并且紧紧的贴在目标位置上，打开样品托加热开关。

9、 待样品托温度上升至50°C以上，缓慢上升载玻片支架，可以看到PVA膜留在了目标衬底上。将载玻片上升到足够高度后，移动支架至最左边。关闭样品托加热按钮，关闭真空吸附按钮，取下已转移好二维材料的衬底。

10、转移完毕。

11、通过去离子水或者其他合适的溶剂溶解PVA膜，通过退火等方法，去除转移过程中引入的有机杂质等，以净化材料表面、异质界面等。

12、真空吸附住掩膜板，通过对准及转移系统对已经转移好的样品和掩膜板进行对准和固定，完成对准之后，关掉真空泵，从对准平台上取下样品台，放入真空镀膜机或者磁控溅射设备中进行电极制备。