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High purity materials
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Kcell 热蒸发源
仪器
热蒸发源，是使用辐射加热的原理，利用热灯丝加热放置在坩埚中的靶材，使材料受热蒸发，从而产成原子/分子束流，蒸镀到衬底上的一种镀源。特殊设计的灯丝结构，使坩埚受热均匀，确保蒸发稳定。高纯、低放气材料的使用，以及高效的水冷装置，确保其能够在超高真空环境中使用。
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工作温度 |
200-1400℃（建议700-1300℃） |
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坩埚 |
250px3， Al2O3（其他容量材质可定制） |
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真空中直径 |
35mm（max） |
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真空中长度 |
200mm（典型值，可根据需要调整） |
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安装法兰 |
DN40CF（2.75”OD，其他型号可定制） |
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烘烤温度 |
200℃（max） |
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热电偶 |
C型热电偶（可定制K型热电偶） |
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电源功率 |
300W（30V，10A，其他型号可选） |
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工作气压 |
超高真空（典型值2x10-10mbar） |
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标准部件 |
水冷罩，手动挡板 |
