1、将样品固定在样品台上，并通过调整样品台旋转控制器将其转到合适的角度。

2、调节掩模板竖直移动旋钮，将掩模板正面朝下，通过铜夹定在掩模板固定支架上。

3、粗调样品台水平移动旋钮，使样品大致位于掩模板图形下方，方便寻找样品。

4、将整套装置置于长焦显微镜下，并对焦于掩模板图形处。

5、透过图形中较大的孔对焦于衬底上，寻找样品。

6、将需要蒸镀的样品置于视野中央。

7、缓慢降下掩模板，使其接近衬底表面。

8、调节样品台水平移动旋钮使样品与掩模板图形对齐。

9、进一步下降掩模板，使其与样品接触。（在显微镜中能同时看清样品与掩模板图形，即认为接触）

10、小心地将整套装置放于蒸镀设备中蒸镀，尽量避免震动。

11、为保证对准系统使用精度，每次蒸镀结束都应及时对其进行清洁。

*注1：对准系统的底座尺寸可以根据科研使用者的具体需求进行定制。

*注2：为确保对准系统位移精度和延长对准系统使用寿命，蒸镀过程中尽量将旋钮部分保护起来。

1、样品表面和掩模板表面要保持清洁，防止灰尘沾染，推荐在无尘室使用。

2、高精度蒸镀时 (<10微米) 推荐使用热蒸发或者电子束蒸发，蒸镀时还需较高的真空(1x10^-5 Torr以下)，并且尽量使靶材金属在掩模板正下方。