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蒸发料-I
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靶材-La
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靶材-Yb
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蒸发料-Hf
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靶材-Ta
蒸发料-Ta
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Pt
靶材-Pt
蒸发料-Pt
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Pb
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Bi
靶材-Bi
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单晶

Single crystals

Al
Si
K
Ca
Ni
Cu
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硅片

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100 N型
2英寸
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100 P型
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111 本征
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氧化硅片 本征
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氧化硅片 任意掺杂
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氮化硅片
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绝缘体
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硅片，Si（100），N型

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6英寸

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硅片，Si（100），N型

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6英寸

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硅片，Si（100），N型

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6英寸

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